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Inventor Inventor Assignee Assignee IPC IPC
1
CN112462112A
一种探针卡楔块调幅方法
Substantial Examination
Publication/Patent Number: CN112462112A Publication Date: 2021-03-09 Application Number: 202011367068.5 Filing Date: 2020-11-30 Inventor: 于海超   周明   Assignee: 强一半导体(苏州)有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本发明属于探针卡技术领域,尤其涉及一种探针卡楔块调幅方法,包括步骤:步骤a,确定调幅距离、步骤b,移动楔块、步骤c,触点连接和步骤d,探针检连接刷新,能够通过移动楔块,带动探针进行移动,使探针卡根据待检测的触点数量,调整参与检测的探针数量,进而实现探针卡的调幅,使单个探针卡的检测幅度能够进行调整,使探针卡具有通用性。
2
CN212965087U
一种可防静电的探针测试装置
Grant
Publication/Patent Number: CN212965087U Publication Date: 2021-04-13 Application Number: 202021607500.9 Filing Date: 2020-08-05 Inventor: 桂恒   Assignee: 惠州市晨烨科技有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本实用新型公开了一种可防静电的探针测试装置,包括测试机本体,所述测试机本体的顶部设有气缸,且测试机本体的中部设有连接板和探针固定板,所述气缸垂直的设置在测试机本体上,所述连接板通过螺丝固定在气缸的活塞杆上,所述探针固定板位于连接板的下侧,且探针固定板与连接板之间通过螺丝固定连接,所述探针固定板上设有若干个探针连接座,且每个所述探针连接座的下侧设有一个检测探针。与传统的探针测试装置相比,本实用新型通过设置带有可调节探针连接座的探针固定板,能够适用于不同规格的工件的测试工作,一板多用,更加节约、环保,通过在工件放置槽内和探针固定板的下侧设置防静电台垫,可以将工件或探针上静电导走,更安全。
3
CN212872578U
一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡
Grant
Publication/Patent Number: CN212872578U Publication Date: 2021-04-02 Application Number: 202021819388.5 Filing Date: 2020-08-27 Inventor: 徐立华   严日东   Assignee: 沈阳圣仁电子科技有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本实用新型公开了一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,包括测试探针卡,所述测试探针卡由专用印刷电路板PCB、针块夹具固定板、针块夹具本体、加强板和针体组成,所述专用印刷电路板PCB内部开设有针块夹具插槽,所述专用印刷电路板PCB内部贯穿有焊接接点,所述焊接接点的数量设置有多个,多个所述焊接接点等间距分布,所述焊接接点与针块夹具插槽外壁相匹配,所述专用印刷电路板PCB内部远离针块夹具插槽的一侧贯穿有针块夹具PCB紧固孔。本实用新型通过采用陶瓷块加工形式,从现有的针和树脂印刷电路板连接中,制成以块为单位的结构,使每个块可以独立移动,以解决平整度问题,同时具有可调节的特点。
4
CN108226583B
测试探针
Grant
Publication/Patent Number: CN108226583B Publication Date: 2021-01-19 Application Number: 201810062226.2 Filing Date: 2018-01-23 Inventor: 周焱   但艺   许卓   付剑波   朱海鹏   梁鹏   张玉青   冉敏   卓越越   侯帅   金熙哲   吴海龙   Assignee: 京东方科技集团股份有限公司   重庆京东方光电科技有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本发明公开一种测试探针,其包括多根辅探针、压力信号转换装置以及控制系统。多根辅探针设于探针杆的杆腔内,且探针杆上开设有多个伸出孔,以分别供多根辅探针伸出探针杆。压力信号转换装置设于探针杆上端并通过压力传导件连接于主探针,以将主探针受到的压力转换为压力信号。控制系统连接于压力信号转换装置,以在接收到压力信号时通过驱动机构控制多根辅探针伸出于探针杆。本发明通过辅探针的设置,使得测试探针是以主探针和多根辅探针同时与被测物的多个位置接触,从而避免现有探针因主探针与被测物分离而导致测试电压未加载到被测物而使测试评价失准的问题。
5
US10901001B2
Probe card device and probe head
Publication/Patent Number: US10901001B2 Publication Date: 2021-01-26 Application Number: 16/359,472 Filing Date: 2019-03-20 Inventor: Hsieh, Chih-peng   Su, Wei-jhih   Assignee: CHUNGHWA PRECISION TEST TECH. CO., LTD.   IPC: G01R1/073 Abstract: A probe head includes a first die, a second die, and a plurality of rectangular probes. Each rectangular probe includes a deformable segment arranged between the first and the second dies, a first positioned segment, and a second positioned segment, the latter two of which respectively extend from two opposite ends of the deformable segment and are respectively arranged in a first rectangular wall of the first die and a second rectangular wall of the second die. Each first rectangular wall and the corresponding second rectangular wall have a longitudinal offset and a width offset so as to press the first and second positioned segments of the corresponding rectangular probe, so that the deformable segment of the corresponding rectangular probe is compressed to be in a curved and deformed shape. A ratio of the longitudinal offset to the width offset is within a range of 10 to 1.
6
CN212459799U
一种电子工业设备探针治具
Grant
Publication/Patent Number: CN212459799U Publication Date: 2021-02-02 Application Number: 202021595653.6 Filing Date: 2020-08-04 Inventor: 桂恒   Assignee: 惠州市晨烨科技有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本实用新型公开了一种电子工业设备探针治具,包括:底座,所述底座的外壁上、下、左、右四端均焊接有固定块,所述固定块的外壁均设有螺钉;滑动结构,所述滑动结构包括套筒,所述套筒的底部与底座的顶部相焊接,所述套筒的内腔滑动连接有套杆,所述套杆的左右侧壁下部均焊接有限位块,所述套杆的底部焊接有滚轮,所述卡座的内腔插接有探针本体;夹持机构,所述夹持机构包括第一夹臂,所述底座的顶部左侧开设有滑槽,所述第四滑块的顶部焊接有第二夹臂。本装置能够通过斜块的移动,使探针本体对电路板进行测试,同时圆板的底部设置的多个探针本体,能够更好地对电路板进行多点测试,通过拆卸下螺丝,能够对探针本体进行更换,使用便捷。
7
CN112462108A
一种新型探针卡装置
Substantial Examination
Publication/Patent Number: CN112462108A Publication Date: 2021-03-09 Application Number: 202011272645.2 Filing Date: 2020-11-13 Inventor: 顾良波   王华   季海英   凌俭波   周建青   吴勇佳   Assignee: 上海华岭集成电路技术股份有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本发明公开了一种新型探针卡装置,每根探针上有一个接收装置,探针固定在升降装置上,探针通过支架固定。可以根据调试的需要,升起不同的探针,一根或多根,可以方便的定位到影响的pin脚,便于设计分析原因,也可以排除直接其他针对某个模块测试的影响。
8
CN112462110A
一种楔块调幅探针卡调幅件及其对接结构
Substantial Examination
Publication/Patent Number: CN112462110A Publication Date: 2021-03-09 Application Number: 202011367045.4 Filing Date: 2020-11-30 Inventor: 于海超   周明   Assignee: 强一半导体(苏州)有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本发明属于探针卡技术领域,尤其涉及一种楔块调幅探针卡调幅件及其对接结构,调幅件包括:压块盘、压块盘环、压块盘环槽、压块盘杆、压块盘挡筒、滑座和外壳,若干个压块盘并列滑动设置在压块盘杆上形成压块,若干个压块盘均偏心设置在压块盘杆上,每个压块盘的外部均固定套设有一个压块盘环,每个上楔板的上端均设置有一个压块盘环槽,能够实现,压块盘转动后能够通过压块盘环与上楔板对接,在压块下移过程中,压块盘随着上楔板水平滑动,在滑动过程中保持对接,能够保证上楔板滑动稳定,同时多个压块盘滑动设置在压块横杆上,多个压块盘能够单独移动,能够适应多个上楔板的不同水平移动距离。
9
CN212301641U
一种可嵌入匹配网络的射频探卡
Grant
Publication/Patent Number: CN212301641U Publication Date: 2021-01-05 Application Number: 202020776291.4 Filing Date: 2020-05-12 Inventor: 夏前亮   何朝峰   李勇   夏然   肖功亚   邵赛艳   卞乾坤   黄明笑   卢明达   Assignee: 中电科技德清华莹电子有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本实用新型涉及射频通信技术领域,尤其是一种可嵌入匹配网络的射频探卡,包括PCB1、PCB2、PCB3、贴片SMA、同轴线缆、匹配元件和探针,探卡夹具对PCB1固定,PCB2与PCB1固定连接;PCB3与PCB2固定连接,贴片SMA和匹配元件设置在PCB3的上表面,且贴片SMA与匹配元件电连接,同轴线缆与贴片SMA电连接,探针设置在PCB3的下表面,PCB3上设置有过孔,匹配元件与探针之间通过过孔电连接,本实用新型能够方面嵌入和修改匹配元件。
10
CN112213533A
针座结构及采用该针座结构的测试治具
Substantial Examination
Publication/Patent Number: CN112213533A Publication Date: 2021-01-12 Application Number: 201910621694.3 Filing Date: 2019-07-10 Inventor: 苏若纯   Assignee: 三赢科技(深圳)有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 一种针座结构,用于固定探针,包括底座,所述底座上设有第一收容腔,所述第一收容腔内设有贯穿所述底座的第一通孔,所述探针设于所述第一通孔中且两端凸伸出所述第一通孔,所述针座结构还包括限位块,所述限位块设于所述底座上且与所述第一收容腔相对设置,所述限位块上设有与所述第一通孔对应的第二通孔,所述探针的一端凸伸入所述第二通孔并抵持于所述限位块上,所述探针的另一端抵持于所述底座上。还涉及采用上述针座结构的测试治具,上述针座结构结构简单,有效避免出现所述探针掉出所述针座结构的情况。
11
CN112384811A
用于高频应用的探针卡
Public
Publication/Patent Number: CN112384811A Publication Date: 2021-02-19 Application Number: 201980045092.6 Filing Date: 2019-07-02 Inventor: 里卡尔多·维托里   Assignee: 泰克诺探头公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 描述了一种用于电子器件的测试装置的探针卡,包括至少一个支撑板(33)、以及柔性膜(32)和与该柔性膜的第一面(F1)相关联的多个接触探针(35),所述多个接触探针(35)易于抵接在集成在半导体晶片(34)上的被测器件(34')的多个接触垫(34A)上并且易于携带高频信号,探针卡包括至少一个滑动接触接触区域(36),该滑动接触区域包括形成在支撑板(33)上的第一接触垫(36A)、在柔性膜(32)的外围部分(32C)处形成在柔性膜(32)上的易于在滑动接触区域(36)处按压接触在支撑板(33)上的第二接触垫(36B)、以及在滑动接触区域(36)处按压接触在柔性膜(32)的外围部分(32C)上的至少一个按压元件(37),以将第二接触垫(36B)按压接触在第一接触垫(36A)上来在柔性膜(32)和支撑板(33)之间提供电接触和机械接触。
12
CN212932723U
城轨车辆弓网检测系统探针连接装置
Grant
Publication/Patent Number: CN212932723U Publication Date: 2021-04-09 Application Number: 202020668791.6 Filing Date: 2020-04-27 Inventor: 邓文   龚俊杰   张海宁   李晓熹   杨帅彬   陈彬   Assignee: 北京国联众泰科技有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本实用新型涉及城轨车辆弓网检测系统探针连接装置,属于城轨车辆弓网检测系统技术领域,其包括上壳和底座,上壳和底座之间为可拆卸连接,上壳内固定有支架,支架下表面固定连接有若干探针接触块,探针接触块贯穿支架并向上延伸,底座上表面固定有绝缘材质的探针固定块,探针固定块内贯穿有若干电流探针,电流探针一端伸出探针固定块的顶部并与探针接触块抵接,电流探针另一端贯穿并伸出探针固定块,本实用新型具有便于城轨车辆弓网检测系统的装配和拆卸的效果。
13
CN108845166B
探针卡
Grant
Publication/Patent Number: CN108845166B Publication Date: 2021-03-02 Application Number: 201810604560.6 Filing Date: 2018-06-13 Inventor: 赵朝珍   莫保章   Assignee: 上海华力微电子有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本发明提供了一种探针卡,所述探针卡包括:基板、多个镶嵌在所述基板内并能够在所述基板内滑动的探针模块以及安装在所述探针模块上的多个探针,所述探针模块的滑动能使得所述探针所在的位置发生变化。在本发明提供的探针卡中,多个所述探针安装在一个探针模块上,再在基板上安装多个探针模块,探针模块可以滑动,滑动探针模块可以使此探针模块上的探针所在的位置发生变化进,即滑动探针模块可以将原来接触到晶圆测试点的探针变为没有接触到晶圆测试点,因此,相对于现有技术,本发明的探针卡可以使用多种不同类型的晶圆测试。
14
US10928422B2
Semiconductor testing apparatus
Publication/Patent Number: US10928422B2 Publication Date: 2021-02-23 Application Number: 14/596,762 Filing Date: 2015-01-14 Inventor: Kim, Il   Assignee: WILLTECHNOLOGY CO., LTD.   IPC: G01R1/073 Abstract: Provided is a semiconductor testing apparatus that a testing pin is rendered to electrically connect to another testing pin or an external substrate through a conductive layer formed in the guide hole, so that it results in enhancement in various characteristics such as poor electrical contact of the testing pin, space efficiency, noise, and high frequency characteristics, thereby improving reliability in testing results.
15
CN112424615A
检查治具以及检查装置
Public
Publication/Patent Number: CN112424615A Publication Date: 2021-02-26 Application Number: 201980046794.6 Filing Date: 2019-05-27 Inventor: 加藤穣   Assignee: 日本电产理德股份有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本发明的检查治具包括:大致棒状的探针Pr,具有与检查对象物(100)的检查点101导通连接的一端部Pa、与所述一端部Pa相连的主体部Pc、以及与所述主体部Pc相连的另一端部Pb;及支撑部件31,支撑所述探针Pr,所述探针具有卡止部,所述卡止部能够卡合脱离地卡止于所述支撑部件上所设置的抵接部,所述卡止部构成为:在使用所述探针进行检查时,当在所述探针的轴向上作用有一定值以上的压缩载荷时,所述卡止部自所述抵接部脱离。
16
CN213023255U
一种射频测试探针结构、射频测试装置以及系统
Grant
Publication/Patent Number: CN213023255U Publication Date: 2021-04-20 Application Number: 202120584225.1 Filing Date: 2021-03-23 Inventor: 江成   翟巍   Assignee: 荣耀终端有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本申请提供一种射频测试探针结构、射频测试装置以及系统,涉及射频测试领域,能够解决射频测试中探针结构占用空间较大或需要使用Switch测试座导致成本大的问题,实现在不使用Switch测试座情况下,减小探针结构的占用空间,从而提高被测产品的空间利用率。本申请的射频测试探针结构包括阻抗调节装置、第二测试针、第一测试针、介质和外壳,其中,第二测试针和第一测试针均设置于外壳的同一端。第一测试针的周围设置有介质,第一测试针与阻抗调节装置电连接,阻抗调节装置与外壳接地连接,第二测试针与阻抗调节装置或外壳接地连接。
17
CN112710878A
可拆式高频测试装置及其垂直式探针头
Public
Publication/Patent Number: CN112710878A Publication Date: 2021-04-27 Application Number: 201911016681.X Filing Date: 2019-10-24 Inventor: 李文聪   谢开杰   Assignee: 中华精测科技股份有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本发明公开一种可拆式高频测试装置及其垂直式探针头。所述可拆式高频测试装置包括一垂直式探针头、安装于所述垂直式探针头的一信号传输件及连接所述垂直式探针头的一间距转换板。所述垂直式探针头包含一固持座,其包含一第一导板单元与一第二导板单元、形成于所述第二导板单元的一内表面的一高频传输线路与一接地线路、穿设定位于所述固持座的多个导电探针及可分离地顶抵于所述高频传输线路的一高频探针。所述信号传输件连接于所述高频传输线路,以使所述信号传输件与所述高频探针而彼此电性耦接。所述可拆式高频测试装置及其垂直式探针头通过结构改良,以减少高频信号于传输过程中所产生的信号损失且提供维护、量产及调整的便利性。
18
CN112240945A
晶圆探针卡改良结构
Substantial Examination
Publication/Patent Number: CN112240945A Publication Date: 2021-01-19 Application Number: 201910646520.2 Filing Date: 2019-07-17 Inventor: 陈世宗   叶政宏   Assignee: 中华精测科技股份有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本揭示提供了一种晶圆探针卡改良结构,其包含基板、印刷电路板以及多个第一散热通道。基板下方设置有探针头。印刷电路板设置于基板上方并与基板电性连接。多个第一散热通道各具有吸热端、散热端及传导部。其中,各第一散热通道所具有的吸热端夹设于基板与探针头之间,各第一散热通道所具有的散热端设置并露出于印刷电路板的上表面,且各第一散热通道所具有的传导部穿设基板与印刷电路板,以将吸热端所吸收的热传导至散热端,藉此有效降低探针头的工作温度并延长期使用寿命。
19
CN212433223U
双排探针测试结构及一种光学摄像头模组测试工站
Grant
Publication/Patent Number: CN212433223U Publication Date: 2021-01-29 Application Number: 202020369788.4 Filing Date: 2020-03-19 Inventor: 黎亚奎   邓水冰   高其伟   Assignee: 南昌欧菲生物识别技术有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本实用新型公开了一种双排探针测试结构,包括母座和测试探针组,母座包括底板和设置在底板上母座连接器,母座连接器包括第一连接区和第二连接区,第一连接区和第二连接区与底板的第一板面距离不同,测试探针组包括第一探针和第二探针,属于同一组测试探针组的第一探针和第二探针并联连接,第一探针与第一连接区可接触连接,第二探针与第二连接区可接触连接。不同高度设计的第一连接区和第二连接区就给了第一探针和第二探针在接触时更多的定位误差余量,提高测试效率。同时,本申请还提供一种光学摄像头模组测试工站。
20
CN212674986U
一种超高探针高度针卡
Grant
Publication/Patent Number: CN212674986U Publication Date: 2021-03-09 Application Number: 202020730652.1 Filing Date: 2020-05-07 Inventor: 李杰   Assignee: 上海依然半导体测试有限公司   IPC: G01R1/073 Abstract: 本实用新型涉及探针卡技术领域,尤其为一种超高探针高度针卡,包括线路板、铝块、陶瓷以及探针,所述线路板下端连接有铝块,所述线路板和铝块连接处设有沉头螺丝,所述铝块下端陶瓷,所述铝块和陶瓷连接处设有陶瓷树脂粘贴层,所述陶瓷下部基面处连接有探针,所述陶瓷和探针连接处设有树脂,在生产制作过程中容易损坏探针、报废率高且目前工艺已经满足不了客户的超高探针高度要求,线路板和铝块之间通过沉头螺丝锁紧连接,基于原本的环氧探针卡更改了原有的装配结构,使得在与线路板装配时结构更加牢固,减少了生产车间的报废率,探针为环氧探针卡型的探针,铝块的使用增加了探针的高度,满足了更多客户对于针卡高度的要求,整体效果好。
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